温湿度控制是深圳无尘车间生产的重要条件，相对湿度是无尘车间运行过程中常见的环境控制条件。近年来，我们不得不承担资本和经营成本，以维持空气处理过程符合这些规定。但是为什么要花那么多钱在无尘车间上控制相对湿度呢？那是因为，如果车间的相对湿度控制不好，无尘车间的整体性能可能会下降，也会带来一系列的影响。

1.细菌和其他生物污染(霉菌、病毒、真菌、螨虫)能在相对湿度超过60%的环境中活跃繁殖。当相对湿度超过30%时，一些菌群可以生长。相对湿度在40%-60%之间时，细菌和呼吸道感染的影响可以降到最低。所以无尘车间的相对湿度需要控制在一定范围内。

2.相对湿度控制不好，在无尘车间中容易造成金属腐蚀。很多化学反应的速度，包括腐蚀，都会随着相对湿度的增加而加快。车间周围所有暴露在空气中的表面很快就会覆盖上至少一层水。当这些表面由能与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度会加速反应。幸运的是，一些金属，如铝，可以与水形成保护性氧化物，阻止进一步的氧化反应；另一种金属，如氧化铜，没有保护作用。在高湿度环境中，铜表面更容易腐蚀。

3.如果无尘车间的相对湿度控制不好，就会出现静电荷(一种静电荷)。高湿度实际上减少了无尘车间表面静电荷的积累。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但当相对湿度小于30%时，静电荷可在绝缘子或不接地表面上长时间存留。相对湿度在35%到40%之间可能是一个令人满意的折衷方案，半导体车间通常使用额外的控制设备来限制静电荷的积累。

4.吸水性。相对湿度控制不好，对无尘车间吸水量的输出有一定影响。

5.水蒸气凝结。在相对湿度较高的无尘车间环境中，浓水的毛细作用力在颗粒与表面之间形成连接键，可以增加颗粒与二氧化硅表面的附着力。这种效应被称为开尔文浓度，即当相对湿度小于50%时，它并不重要，但当相对湿度在70%左右时，它就成为颗粒间粘附的主要力量。

6.40%至60%范围内的无尘车间湿度也是人类感到舒适的适中范围。如果湿度过高，人会感到闷热，而30%以下的湿度会使人感到干燥、皮肤皲裂、呼吸不适、情绪不愉快，从而影响工作。

7.到目前为止，半导体无尘车间中最迫切需要适当控制的是光刻胶的感光度。因为光刻胶对相对湿度极其敏感，所以它对相对湿度控制范围的要求是最严格的级别。事实上，相对湿度和温度对于光致抗蚀剂的稳定性和精确的尺寸控制至关重要。即使在恒温下，光刻胶的粘度也会随着相对湿度的增加而迅速降低。当然，改变粘度会改变固定组分涂层形成的保护膜的厚度。参考两个城市，实验证实了3%的相对湿度变化将改变59.2埃的保护厚度..

此外，在高相对湿度环境中，由于吸收了水，在烘烤循环之后，光致抗蚀剂膨胀加剧。较高的相对湿度也会对光致抗蚀剂的粘合力产生负面影响。较低的相对湿度(约30%)使得光致抗蚀剂更容易附着，甚至不需要聚合改性剂如六甲基二硅氮烷。

从以上原因，已经可以看出控制深圳无尘车间温湿度的作用。最后的结论是，控制无尘车间温湿度的主要作用是提高产品的合格率。只有控制好无尘车间的温湿度，无尘车间才能更好的发挥作用。